西北地区首条硅光中试线正式通线

陕西光电子先导院4日宣布，“8英寸先进硅光集成技术创新平台”(以下简称:8英寸硅光平台)已正式通线，并发布了一款无源SOI(绝缘衬底上的硅)集成超低损耗氮化硅产品的PDK(工艺设计套件)。

作为西北地区首条硅光中试线，8英寸硅光平台的正式通线，不仅填补了区域硅光芯片中试领域空白，更成为陕西“追光计划”实施以来的标志性成果，将作为陕西打造千亿级光子产业集群的核心支点，为“追光计划”从蓝图迈向实践注入关键动力。

“8英寸硅光平台的通线，彻底补全了陕西在硅光芯片中试领域的短板。”陕西光电子先导院总经理杨军红表示，该院已累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试平台，此前6英寸化合物平台已服务50余家企业，如今硅光平台的加入，将与西安科学园的先进阿秒激光设施、光子传感园的产业化载体形成联动，为“追光计划”培育千亿级集群提供从基础研究、中试验证到量产落地的全链条支撑。

8英寸硅光平台总投资7.5亿元，于2023年底启动建设。截至2025年9月末，已完成全部场地及硬件设施建设。该平台引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”，并引入了光刻、刻蚀等60余台关键核心设备，在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上，开发90nm以上先进工艺，已构建起自主可控的先进工艺体系。

当日，陕西光电子先导院还正式发布了一款无源SOI集成超低损耗氮化硅产品的PDK(工艺设计套件)。“这是陕西光电子先导院硅光平台发布的首款PDK，预计将于2026年完成有源产品通线，包含高性能调制器、探测器等核心器件，将加速可应用于人工智能、光通信、光计算、智能驾驶、低空飞行等领域的产品迭代进程，大幅缩短光电、硅光客户的流片周期和研发成本。”杨军红表示。

据了解，6英寸化合物平台自2023年启用以来，已发布20余款 PDK，为50余家客户提供全流程服务；8英寸硅光平台虽刚通线，但已与十余家头部企业达成意向合作协议，并吸引了多家外地企业聚集陕西。

“从化合物半导体到硅光集成，我们正以平台能力跃升支撑新质生产力发展。”杨军红透露，下一步将推进异质异构集成平台建设，构建“化合物半导体+硅光+异质异构集成”三位一体的平台架构，实现从材料生长、芯片制程、器件封装到系统测试的全链条覆盖，为光通信、生物传感、人工智能等前沿领域提供关键支撑，助力陕西成为光子产业高地。